超臨界CO₂洗浄システム 廃液・乾燥処理が不要！！
超臨界CO₂の溶解力を利用した洗浄技術は、環境調和型技術として幅広い分野で注目されています。また、超臨界CO₂は、表面張力が小さいため、細部まで浸透し、微細パターン（半導体部品・精密部品等）を変形させずに洗浄することができます。
特徴
- 乾燥工程が不要
- 洗浄液の再生、再利用が容易
- 洗浄に伴う廃液・廃水処理が不要仕様・特長
仕様
| 設計圧力 | 10MPa |
| 設計温度 | 40℃ |
| 洗浄槽容量 | 12L |
機器構成
- 洗浄槽（外部ヒータ、自動開閉蓋付）
- 液化供給槽（凝縮機内蔵）
- 廃液回収槽（加熱器内蔵）
- 冷凍器（5.5kw）
- フィルター（予備切替式）
- 自動制御装置（タッチパネル）
原理
- 洗浄操作は臨界点近傍の亜臨界領域から超臨界領域まで
- 洗浄廃液は、炭酸ガスと残渣を分離
- 炭酸ガスは液化し、再利用
- 残渣は、純粋な洗浄残渣のみ
洗浄対象物
- 洗ドライクリーニング ： 衣類洗浄、残留有害物質の除去
- 精密機器部品 ： 油除去、溶剤除去
- 半導体分野 ： ウエハ、レジスト膜剥離、ITパーツ洗浄
優位性
- 水や熱に弱い部品材料の洗浄が可能
- 乾燥時間が不要
- 複合材の組立品洗浄が可能
オプション
- 炭酸ガス回収システム
- ＴＶモニター
※ご相談により、各種対応が可能です。
